配备有防止手柄因振动而松动的机构。
具有增强安全性的隔膜阀。
产品阵容包括FS-55L(软树脂座椅结构)型和FS-55LMT(金属触摸座椅结构)型。
使用我们的 55L 结构,具有良好的可靠性记录。它与氟气混合物、高纯氦气、高纯氯气和其他高压气体兼容。压盖配备了一个机构,可以防止手柄松动,以防止手柄因使用低压液化气体时发生的振动而松动。
FS-55LMT(金属触摸座)适用于与树脂不相容的气体或高腐蚀性气体。
具有实绩记录的高纯度气体(半导体专用气体)的标准型号。
手柄开启和关闭操作轻巧流畅。14.7 MPa的气缸压力可以用手关闭。
Cv值不小于0.3,为压缩气体阀门的参考值。
主体为SUS316L不锈钢。
与多种流体兼容:用于半导体和液晶(如磷化氢和砷化氢)的特殊材料气体;高纯、高压气体,如高纯氦气、高纯氯气;以及氨等液化气体。
氦气检漏仪用于测量每个工件的泄漏(内部和外部泄漏)。
在压盖上配备了一个机构,可防止因振动而松动。
提供允许在出口内安装孔口的类型。
型 | FS-55L系列(FS-55LMT金属触摸座椅系列) |
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阀体材质 | SUS316L |
圆盘座 | PCTFE、PVDF、金属 |
最大工作压力 | 14.70MPa |
温度范围 | -20°C — +65°摄氏度 |
流量系数 Cv |
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氦气泄漏率 | 1.0 x 10-9 Pa・m3/秒 |
用于订购 | 气体 类型 连接 所需的法规和标准 如果有任何选项和特殊功能 |
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